катодне розпилювання

ru\ \ [lang name="Russian"]катодное распыление

en\ \ [lang name="English"]cathode sputtering

de\ \ [lang name="German"]Kat(h)odenzerstäubung

fr\ \ \ [lang name="French"]pulvérisation cathodique

розпилювання матеріалу катода при газовому розряді внаслідок бомбардування катода позитивними іонами; використовується для нанесення тонких металевих покриттів, очищення поверхні, виявлення структури металів